Обзор вакуумных насосов

Уже около 80 лет японское предприятие Anest Iwata производит высококачественные воздушные компрессоры. В конце девяностых компания внедрила первый во всем мире спиральный вакуумный насос (безмасляный). Сегодня такая модель используется для самых разных приложений, в том числе и в системах напыления, ионной обработке, гелиевых течеискателях, системах для нанесения оптических покрытий, вакуумных печах, электронно-лучевых процессах, лабораторном оборудовании. То, что на валах есть специальные уплотнения, не дает возможности всякого рода загрязнениям попасть в форвакуумную откачку. При этом износ таких уплотнений, который неизбежен, становится причиной появления пыли, которая может попасть в рабочую камеру. Также необходимость есть в регулярной очистке этой системы, хотя и она не может совсем предотвратить появление в процессе работы загрязнений. Кроме того, возможны и нарушения масс-спектрометров, датчиков.

Основным параметром, который выделяют сотрудники Anest Iwata, является минимальная генерация частичек износа в самом насосе. Высокая надежность таких насосов обеспечивается внедрением таких инженерных инноваций, как, например, система Air Flush, которая автоматически удаляет из внутренней полости агрегата частицы влаги, пыли. О том, насколько она эффективна, говорит следующий факт. На одном из самых крупных фотонных ускорителей, японском Spring-8 работают больше 800 насосов ISP-250В производства Anest Iwata одновременно. При этом требования исследований говорят, что ни одной случайной частички не должно находиться в объеме ускорителя.

Ещё один вариант, который может обеспечить чистый вакуум – модульная ловушка с высокой производительностью, которая устанавливается на вакуумные насосы. Удобство в том, что такой узел может быть использован и при новом создании насоса, и при ремонте уже отслужившего. Такие насосы используются для процессов, в котором участвуют такие реагенты, как AlO3, нитриды, TiN, и при создании борофосфосиликатного стекла. В таких процессах появляется значительное количество макрочастиц. Водная вакуумная ловушка MV Multi-Trap (16 дюймов) гасит потоки таких частиц, обеспечивает ряд этапов потока фильтрации (их характер и количество зависят от вида технологического процесса и от профиля самого пользователя). Кроме того, такая ловушка может быть оборудована опцией охлаждения, специально для тех случаев, когда нужно получить конденсат.

Промышленные насосы

Обзор вакуумных насосов